Prozess-Know How 
vor Ort

Kompetente Hilfe, schnell und unkompliziert.

Prozessunterstützung

Der zeitliche Schwerpunkt der Tätigkeiten von Semiconsulting Process Engineering liegt in der Arbeit im Reinraum an den Anlagen vor Ort. Meine langjährige Erfahrung mit vielfältigen Applikationen in den unterschiedlichsten Fabs und Bereichen der Mikrotechnik sind der Garant für die schnellstmögliche Erreichung der gewünschten Prozessergebnisse. Je nach Auftraggeber stellen sich unterschiedliche Aufgaben:

Anwender

Installation von Gebrauchtanlagen

Viele etablierte Halbleiterhersteller erweitern ihre bestehende Produktion mit Anlagen aus dem Sekundärmarkt. Meist fehlt es den Anbietern solcher generalüberholten Anlagen jedoch an dem nötigen Know How zur Installation des Prozesses. Oft müssen diese Altanlagen auch noch verfahrenstechnisch auf den aktuellsten Stand gebracht werden bevor sie eingesetzt werden können. Ich biete Ihnen diese Engineering Dienstleitung für Anlageninstallationen - kurzfristig, planbar und effektiv.

Prozessentwicklung und -optimierung

Ihre bestehenden Prozesse laufen seit Jahren in Produktion. Jedoch sind die Anlagenrezepte oft nach dem Motto geschrieben: „Viel hilft viel“, oder sie haben sich über die Jahre „organisch“ weiterentwickelt, aber niemand weiß mehr warum einzelne Schritte eingefügt wurden und ob sie wirklich notwendig sind. Beim Gesamtprozess kopiert man seit Jahren die gleichen Abläufe und im Zweifel reinigt man lieber einmal zu oft als zu wenig. Ich kann Ihnen beim „Aufräumen“ von Anlagenrezepten helfen und reduziere die Prozesszeit auf das Wesentliche. Höherer Durchsatz und geringerer Chemikalienverbrauch zahlen sich schnell aus.

Überbrückung von Engpässen im Process Engineering

In der zyklischen Halbleiterindustrie gibt es starke Schwankungen im Bedarf von Ingenieursleitungen. Als externer Dienstleister kann ich ohne lange Einarbeitungszeit unmittelbar in der Produktion als Prozessingenieur einspringen, wenn durch Krankheit, Urlaub oder zu starker Auftragslage Engpässe auftreten.

Anlagenbauer

R&D

Anlagenentwicklung sollte beim konkreten Halbleiterprozess und seinen spezifischen Besonderheiten beginnen. Die verfahrenstechnischen, mechanischen und elektrischen Komponenten sowie die Anlagensteuerung und Automatisierung dienen einzig dem Zweck, den nasschemischen Prozess optimal zu unterstützen. Leider erfolgt die Anlagenentwicklung oft genau umgekehrt und das Prozessergebnis steht am Ende der Überlegungen bei der Entwicklung einer Produktionsanlage. Ich helfe Ihnen den Fokus auf Prozesstechnik zu legen und stehe Ihnen vor Ort bei Entwicklung und Produktion von nasschemischen Produktionsanlagen mit Rat und Tat zur Verfügung.

Prozessinstallationen

Wenn es so weit ist und die Anlagen ausgeliefert werden, wollen Sie die Anlage schnellstmöglich zur Abnahme bringen. Meist stellt sich vor Ort heraus, dass die spezifischen Anforderungen des Kunden eine Anpassung der Prozesseinstellungen erfordern. Es gilt in kurzer Zeit die Kundenbedürfnisse zu verstehen und entsprechend zu reagieren. Meine langjährige Erfahrung in diesem Bereich garantiert Ihnen die schnelle und effektive Anlagenabnahme ohne Reputationsverlust.

Kundendemonstrationen

Vor dem Kauf einer Anlage ist eine Demonstration des Prozesses mit einer Versuchsanlage im Labor ein wichtiger Meilenstein. Es gilt mit einer begrenzten Anzahl von Testsubstraten und meist unbekannten Chipdesigns bestmögliche Ergebnisse zu erzielen. Misslingt eine Kundendemonstration, ist meist kein zweiter Anlauf möglich. Vertrauen Sie deshalb Kundendemos nur Ingenieuren mit langjähriger Praxiserfahrung und interdisziplinären Verständnis vom Gesamtprozess.

Komponenten- und Chemikalienhersteller

Prozessentwicklung

Neuartige Chemikalienmischungen für die Halbleiterindustrie müssen für verschiedene Anlagenplattformen geeignet sein. Vortests werden meist in Beckenanlagen durchgeführt, der Einsatz in Sprühanlagen kann jedoch eine andere Zusammensetzung erfordern. Ebenso gibt es große Unterschiede zwischen Single-Wafer und Batchprozessen. In Zusammenarbeit mit Endkunden-Fabs kann ich Ihnen bei der Einführung und Entwicklung neuer Chemikalien in bestehende Produktionsanlagen hilfreich sein.

Kundendemonstrationen

Für Demonstrationen neuer Chemikalien oder Anlagenkomponenten zum Einsatz in bestehenden Produktionsanlagen stehe ich zur Integration Ihrer Neuerungen beim Endkunden gerne zur Verfügung.

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