Expertenwissen für
Ihre Anforderungen

Unabhängig von Herstellern und prozessorientiert.

Beratung

Ich berate Sie gerne in vielen Belangen der nasschemischen Verfahrenstechnik im Bereich Halbleiter, Mikrosysteme und Solar. Die individuellen Perspektiven von Endanwendern, Anlagenbauern und Zulieferern finden dabei natürlich besondere Berücksichtigung.

Anwender

Als Fabmanager, Prozessingenieur und Anwender von nasschemischen Anlagen müssen Sie sehr schnell stabile Prozessergebnisse erzielen. Die Entwicklungszyklen der Chipindustrie werden stetig kürzer und gleichzeitig steigen die technologischen Anforderungen immer mehr.

In diesem Umfeld stehen Sie vor der Aufgabe Investitionsentscheidungen zu treffen und die technologische Zukunft Ihrer Produktionslinie zu bestimmen. Als unabhängiger Technologieexperte für nasschemische Produktionsprozesse kann ich Ihnen neutral und praxisnah wichtige Hinweise, Tipps und Informationen zu folgenden Fragen geben:

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Bei bestehenden oder gebrauchten Anlagen:

Sind Ihre bestehenden Ätz- und Reinigungsanlagen auch in Zukunft noch prozesstechnisch „up to date“? Kann man diese Anlagen sinnvoll technologisch aufrüsten? Wer bietet Upgrades für Gebrauchtanlagen an? Macht das Umrüsten bestehender Anlagen Sinn, oder sind Neuinvestitionen notwendig?

Bei Bedarf für neue Anlagen:

Welcher Anlagenbauer bietet die beste Lösung für Ihre speziellen prozesstechnischen Anforderungen? Wo liegen die Stärken und Schwächen verschiedener Prozesstechnologien? Worauf sollten Sie bei der Spezifizierung neuer Anlagen achten? Wie gestaltet sich der Markt der Anlagenbauer?

Prozesstechnik:

Welche nasschemischen Entwicklungen in der Prozesstechnik zeichnen sich ab? Gibt es kostengünstigere oder umweltfreundlichere Prozessalternativen? Welche Einsatzmöglichkeiten bietet Ozon im FEOL- oder BEOL-Bereich?

Anlagenbauer

Als Anlagenbauer reicht es nicht mehr nur Hardware herzustellen und die Prozessentwicklung dem Kunden zu überlassen. Vielmehr steht heutzutage das mit der Anlage erzielbare Prozessergebnis im Vordergrund der Kaufentscheidung. Entsprechend gilt es, den Entwicklungsprozess neuer Anlagen vom Wafer ausgehend zu gestalten und die sich daraus ergebenden verfahrenstechnischen Notwendigkeiten im Hardwaredesign umzusetzen.

Ich berate Anlagenbauer in folgenden Fragestellungen:

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Konzeption:

Wie stelle ich den nasschemischen Prozess in den Vordergrund der Designüberlegungen und welche Konsequenzen ergeben sich daraus für das Konzept der Anlage? Welche verfahrenstechnischen Grundregeln muss ich beim Entwurf der Anlage beachten? Welche Anforderungen muss die Anlage für unterschiedliche Prozesse erfüllen? Ist der Single-Wafer oder Batchprozess besser für eine spezielle Applikation geeignet? Sprühen oder Tauchen?

Materialen:

Welche Kunststoffe und Metalle sind aus Sicht des Prozessingenieurs die geeignetsten für den Anlagenbau in der Halbleitertechnik? Gibt es Kompatibilitätsprobleme bei Verwendung verschiedener Chemikalien in einer Anlage?

Komponenten:

Welche OEM-Komponenten haben sich bewährt? Welche Vor- und Nachteile haben bestimmte Messtechniken für Füllstand, Flow, Temperatur und Endpunkt? Wie baue ich die Komponenten richtig ein? Welche Komponenten sind für Ozonprozesse notwendig?

Komponenten- und Chemikalienhersteller

Als Zulieferer der Halbleiterindustrie gilt es die prozesstechnischen Anforderungen der Kunden zu verstehen. Dabei ist die enge Zusammenarbeit mit Prozessingenieuren und Anlagenbauern wichtig, um gezielte Lösungen zu speziellen Problemen der Halbleiter- und MEMS-Industrie anbieten zu können. Die Schwerpunkte meiner Beratungstätigkeit in diesem Bereich liegen deshalb in folgenden Fragestellungen:

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Welche Anlagen werden in unterschiedlichen Bereichen der nasschemischen Prozesstechnik eingesetzt? Welche Probleme treten mit Komponenten und Chemikalien auf? Wo finde ich Projektpartner um neue Entwicklungen in der Praxis testen zu können? Wie gestaltet sich der Markt der Anlagenbauer?

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